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その他 RS232C 対応機器

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電空レギュレータ ITV

    ・電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。
    ・感度:0.2kPa(100kPa仕様)
    ・リニアリティ:±1%以内(F.S.)
    ・ヒステリシス:0.5%以内(F.S.)
    ・通信:CC-Link, DeviceNet™, PROFIBUS DP, RS-232C, IO-Link

     ▶IO-Linkマスタ
シリーズ管接続口径設定圧力(MPa)
ITV0000ワンタッチ管継手内蔵
φ4,φ5/32
0.001~0.1
0.001~0.5
0.001~0.9
ITV10001/8,1/40.005~0.1
0.005~0.5
0.005~0.9
ITV20001/4,3/80.005~0.1
0.005~0.5
0.005~0.9
ITV30001/4,3/8,1/20.005~0.1
0.005~0.5
0.005~0.9

電子式真空レギュレータ ITV

  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • 電子式真空レギュレータ ITV
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    ITV009□検索結果を表示
    ITV209□検索結果を表示
シリーズ管接続口径設定圧力(kPa)
ITV009□ワンタッチ管継手内蔵
φ4,φ5/32
-1~-100
ITV209□1/4-1.3~-80

サーモチラー/スタンダードタイプ HRS

    ・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。
    ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。
    ・コンパクト W377×H615×D500mm、40kg(HRS012/018/024)
    ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。
    ・自己診断機能。
    ・海外輸出用装置に最適(単相AC200~230V、単相AC100V,115V)
    ・CEマーキング、ULに適合。

    ※貸出サンプルをご用意しています。
     最寄りの営業所へお申し付けください。

     営業所一覧
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • サーモチラー/スタンダードタイプ HRS
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRS012〜0601.3kW, 1.9kW, 2.4kW, 3.2kW
    4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
    (60Hzの場合)
    検索結果を表示
  • サーモチラー/スタンダードタイプ HRS
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRS012〜0601.3kW, 1.9kW, 2.4kW, 3.2kW
    4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
    (60Hzの場合)
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRS012〜0605~40℃1.3kW, 1.9kW, 2.4kW, 3.2kW
4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
(60Hzの場合)
±0.1℃空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
脱イオン(純水)
エチレングリコール水溶液(15%)

サーモチラー/耐環境仕様 HRS-R

    ・粉塵・飛沫水環境に対応
    ・電装部保護等級:IP54
    ・金属パネル
     外装部は全面金属パネル
     ステンレスパネルの選択が可能(オプション)
    ・大容量タンク(12L)の選択が可能(オプション)
    ・周囲温度:5~45℃
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • サーモチラー/耐環境仕様 HRS-R
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRS-R1.9kW, 2.9kW, 5kW
    (60Hzの場合)
    検索結果を表示
  • サーモチラー/耐環境仕様 HRS-R
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRS-R1.9kW, 2.9kW, 5kW
    (60Hzの場合)
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRS-R5~40℃1.9kW, 2.9kW, 5kW
(60Hzの場合)
±0.1℃空冷冷凍式清水
エチレングリコール水溶液(15%)

サーモチラー/スタンダードタイプ HRS090

    ・軽量・コンパクト
    ・冷却能力:9kW
    ・温度安定性:±0.5℃
    ・設定温度範囲:5~35℃
    ・最高使用周囲温度:45℃
    ・電源:三相AC200~230V、AC380~415V、AC460~480V
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • サーモチラー/スタンダードタイプ HRS090
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRS0909kW(60Hzの場合)検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRS0905~35℃9kW(60Hzの場合)±0.5℃空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
脱イオン水(純水)
エチレングリコール水溶液(15%)

サーモチラー/スタンダードタイプ  HRS100/150

    ・ヒータ不要でも冷凍回路の排熱利用によって循環液の加熱が可能
    ・電源はEU・アジア・オセアニア・北米・中南米に対応可能
    ・静音設計70dB(A)
    ・屋外設置:IPX4
    ・小型・省スペース

    ※貸出サンプルをご用意しています。
     最寄りの営業所へお申し付けください。

     営業所一覧
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • サーモチラー/スタンダードタイプ  HRS100/150
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRS100
    HRS150
    9.5kW, 14.5kW
    (60Hzの場合)
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRS100
HRS150
5〜35℃9.5kW, 14.5kW
(60Hzの場合)
±1.0℃空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
脱イオン水(純水)
エチレングリコール水溶液(15%)

サーモチラー/スタンダードタイプ HRS200

    ・3相 AC380~415V(50Hz)、3相 AC460~480V(60Hz)
    ・ヒータ不要でも冷凍回路の排熱利用によって循環液の加熱が可能
    ・屋外設置:IPX4
    ・小型・省スペース
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRS2005〜35℃20.5kW±1.0℃空冷冷凍式清水
脱イオン水(純水)
エチレングリコール水溶液(15%)

サーモチラー/インバータタイプ HRSH090

    ・消費電力53%削減
     トリプルインバータで抜群の省エネ効果!
    ・冷却能力:9.5kW(空冷)、11.0kW(水冷)
    ・温度安定性:±0.1℃
    ・温度設定範囲:5℃〜40℃

    ※貸出サンプルをご用意しています。
     最寄りの営業所へお申し付けください。

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  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • サーモチラー/インバータタイプ HRSH090
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRSH0909.5kW検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRSH0905~40℃9.5kW±0.1℃空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
脱イオン水(純水)
エチレングリコール水溶液(15%)

サーモチラー/インバータタイプ  HRSH

    ・トリプルインバータで抜群の省エネ効果!
    ・屋外設置:防滴型(IPX4)
    ・最高使用周囲温度 45℃
    ・最低使用周囲温度 -20℃(空冷式の場合)
    ・温度安定性 ±0.1℃(負荷安定時)
    ・省スペース、軽量280kg(25kWタイプ)
    ・CEマーキング、ULに適合

    ※貸出サンプルをご用意しています。
     最寄りの営業所へお申し付けください。

     営業所一覧
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • サーモチラー/インバータタイプ  HRSH
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRSH10kW, 15kW, 20kW
    25kW, 28kW
    検索結果を表示
  • サーモチラー/インバータタイプ  HRSH
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRSH10kW, 15kW, 20kW
    25kW, 28kW
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRSH5~35℃10kW, 15kW, 20kW
25kW, 28kW
±0.1℃空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
脱イオン水(純水)
エチレングリコール水溶液(15%)

サーモチラー/レーザ用デュアルタイプ HRL

    ・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
    ・省スペース/省配線
     設置面積22%削減
     電源系統:1系統でOK
    ・省エネルギー
     省エネ 消費電力30%削減
    ・タッチパネルを採用
    ・電源:三相AC200V(50Hz)
        三相AC200~230V(60Hz)
        三相AC380〜415V(50/60Hz)
        三相AC460~480V(60Hz)
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • サーモチラー/レーザ用デュアルタイプ HRL
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRL100
    HRL200
    HRL300
    HRL400
    CH1:9kw,19kW,26kW,37kW
    CH2:1.0kW(最大1.5kW)
    検索結果を表示
  • サーモチラー/レーザ用デュアルタイプ HRL
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRL100
    HRL200
    HRL300
    HRL400
    CH1:9kw,19kW,26kW,37kW
    CH2:1.0kW(最大1.5kW)
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRL100
HRL200
HRL300
HRL400
CH1:5~35℃
CH2:10~40℃
CH1:9kw,19kW,26kW,37kW
CH2:1.0kW(最大1.5kW)
CH1:±0.1
CH2:±0.5
空冷冷凍式
水冷冷凍式
CH1:清水
CH2:清水、脱イオン水(純水)

サーモチラー/ラックマウントタイプ HRR

    ・ラックに設置したまま作業可能
     フロントアクセス:前面から設定、調整、メンテナンスが可能。
    ・省スペース:19インチラックに複数台搭載
    ・冷却能力:1.1/1.2/1.8/2.4/3.0/5.1kW(60Hz)
    ・温度安定性:±0.1℃
    ・グローバル電源
     単相AC100V(50/60Hz)/単相AC115V(60Hz)
     単相AC200~230V(50/60Hz)


    ※貸出サンプルをご用意しています。
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     営業所一覧
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • サーモチラー/ラックマウントタイプ HRR
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRR1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW検索結果を表示
  • サーモチラー/ラックマウントタイプ HRR
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRR1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRR5~35℃
15~35℃
1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW±0.1℃空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
エチレングリコール水溶液(15%)

欧州Fガス規制対応サーモチラー HRZ-F

    ・DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。
    ・省エネ
     冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に
     応じてインバータ制御
     消費電力:Max65%削減
     放熱水量:Max67%削減
    ・高性能
     温度安定性:±0.1℃(負荷安定時)
     冷却時間:Max46%短縮(当社比)
    ・使用冷媒:R410A(HFC)/R448A(HFC/HFO)
  • 欧州Fガス規制対応サーモチラー HRZ-F
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ-F2kW, 4kW
    8kW, 10kW
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRZ-F-20~40℃
10~60℃
-20~90℃
2kW, 4kW
8kW, 10kW
±0.1℃水冷冷凍式フッ素化液
エチレングリコール水溶液
清水・脱イオン水(純水)

サーモチラー/高機能タイプ HRZ

中国・台湾・韓国・シンガポール
マレーシア・日本のみ限定出荷品

    ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
     半導体プロセス装置に実績多数。
    ・各種安全規格に対応。
    ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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  • サーモチラー/高機能タイプ HRZ
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW
    検索結果を表示
  • サーモチラー/高機能タイプ HRZ
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRZ-20~40℃
20~90℃
-20~90℃
1kW, 2kW
4kW, 8kW
±0.1℃水冷冷凍式フッ素化液
エチレングリコール水溶液(60%)
清水・脱イオン水(純水)

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