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圧縮空気清浄化フィルタ


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インラインエアフィルタ ZFC5□/7□-X05

製品特長
    ・使用圧力範囲：－100kPa～1.0MPa
    　1台で正圧・真空圧の使用が可能
    ・回り止め機構採用
    　正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止
    ・パッキン（FKM＋禁油処理）：-X05（オーダーメイド）

    注）供給圧力0.1MPa、差圧30kPa
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　バリエーション/機種選定
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径
ミリ		適用チューブ外径
インチ		流量 L/min（ANR）注）
正圧		流量 L/min（ANR）注）
真空圧		ろ過度(μm)
ZFC5□-X05φ4, φ6φ5/32'', φ1/4''100/20010/205
ZFC7□-X05φ6, φ8 , φ10, φ12φ1/4'', φ5/16'', φ3/8''250/450/550/65030/70/80/1005

クリーンガスフィルタ SF

    ・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
    　(SFA100・200・300，SFB100)
    ・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
    　(SFB300，SFC100)
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • クリーンガスフィルタ SF
    取扱説明書
    タイプ シリーズ 検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ディスク形    		SFA100・200・300検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形    		SFB100検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形    		SFB200検索結果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    ストレート形    		SFB300検索結果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    多段ディスク形    		SFC100検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
タイプシリーズ使用圧力ろ過度
カートリッジタイプ
ディスク形		SFA100・200・300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
カートリッジタイプ
ストレート形		SFB100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
カートリッジタイプ
ストレート形		SFB200Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		120μm
ディスポーザブルタイプ
ストレート形		SFB300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
ディスポーザブルタイプ
多段ディスク形		SFC100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）

クリーンエアフィルタ　中空糸エレメント SFD

    ・中空糸エレメント内蔵。
    ・圧力降下：0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時）
    ・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
    ・金属ケースタイプ(オーダーメイド)
    　ステンレスケース、アルミケース
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • クリーンエアフィルタ　中空糸エレメント SFD
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    SFD100ディスポーザブル
    （エレメント交換不可）    		検索結果を表示
    SFD110ディスポーザブル
    （エレメント交換不可）    		検索結果を表示
    SFD200カートリッジ型
    （エレメント交換可）    		検索結果を表示
安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
圧縮空気清浄化機器/共通注意事項　機種選定・技術資料　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類処理流量(ANR)
（一次圧0.7MPa時）		使用圧力ろ過度
SFD100ディスポーザブル
（エレメント交換不可）		～100L/minMAX.1.0MPa0.01μm
（捕集効率：99.99%）
SFD110ディスポーザブル
（エレメント交換不可）		～120L/minMAX.1.0MPa0.01μm
（捕集効率：99.99%）
SFD200カートリッジ型
（エレメント交換可）		～500L/minMAX.1.0MPa0.01μm
（捕集効率：99.99%）

クリーンエアモジュール LLB

製品特長
    ・クリーン機器をモジュール化（配管工数削減／省スペース）。
    　手軽にクリーンエアが得られます。
    ・ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）。
    ・流体接触部：ノングリース、シリコーンフリー。
    ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
    ・24種類の組合せが可能。

    注）入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • クリーンエアモジュール LLB
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    LLB3検索結果を表示
    LLB4検索結果を表示
  • クリーンエアモジュール LLB
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    LLB3検索結果を表示
    LLB4検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項　機種選定・技術資料　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用流体設定圧力流量範囲 L/min（ANR）
LLB3クリーンエア
N2ガス 注）		0.05～0.4MPa5～100
LLB4クリーンエア
N2ガス 注）		0.05～0.4MPa50～500

クリーンエアモジュール LLB1-X100

    ・一体型ユニットにより小型&施工工数削減
    ・流量100L/minまでの小型ワークのクリーンエアブローに対応
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用流体流量範囲 L/min（ANR）
LLB1-525クリーンエア
N2ガス		0.5〜25
LLB1-550クリーンエア
N2ガス		1〜50
LLB1-511クリーンエア
N2ガス		2〜100

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