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製品一覧
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産業用通信機器/無線システム
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- 産業用通信機器 PROFINET 対応機器
- 産業用通信機器 EtherNet/IP 対応機器
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- プロセスポンプ(ダイヤフラムポンプ)
- 温調機器
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- 計装用補助機器
- 油圧機器
テーマ・業種別カタログ
スリットバルブ
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
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・長寿命:300万回(常温時)
・発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
・メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
・安全対策
メカ式エンドロック機構採用
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2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
取扱説明書
シリーズ 検索結果を表示 XGTP 検索結果を表示
シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm | 作動圧力 MPa(G) |
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XGTP | 大気圧~10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45~0.6 |
スリットバルブ XGT
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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
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2D/3D CAD
型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。
オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。
2D/3D CADデータはこちら※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。2D CAD
2D CADデータはこちら スリットバルブ XGT
取扱説明書
シリーズ 検索結果を表示 XGT 検索結果を表示
シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm | 作動圧力 MPa(G) |
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XGT | 大気圧~10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45~0.6 |