高真空バルブ
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
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・アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
・ベローズ交換が可能
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLAV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLF-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
XLFV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160(-1)-X152
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・ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
・寿命:200万回
・装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし(弁体側←→ベローズ側 両方向可能)
取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA-100・160-X152 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
XLC-100・160-1-X152 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
アルミ製高真空L型バルブ XL□
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・フッ素に強い。
・アウトガスが少ない。
・重金属汚染が少ない。
※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16~80は2017年9月に
モデルチェンジしました。
XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~160 |
XLAV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~160 |
XLC | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~160 |
XLCV(電磁弁付) | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLF | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~160 |
XLFV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~160 |
XLG | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~160 |
XLGV(電磁弁付) | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
XLD | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 | 25~160 |
XLDV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 | 25~160 |
XLH | 手動 | 手動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~50 |
XLS | 電磁式 | 単動 (N.C.) | (ベローズバランス) | エア不要 可搬装置用 | 16,25 |
アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ
シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質 | フランジ サイズ |
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XLAQ | エア オペレート | ベローズシール | 単動 (N.C.) | ボディ:アルミ ベローズ:SUS316L | 16~50 |
XLDQ | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動 (N.C.) | ボディ:アルミ ベローズ:SUS316L | 40,50 |
ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ XM/XY
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・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
注)ストレート型にサイズ16はありません。
シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質 | フランジ サイズ |
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XMA/XYA | エア オペレート | ベローズシール | 単動 (N.C.) | ボディ:SCS13(SUS304相当) ベローズ:SUS316L | 16~80 注) |
XMC/XYC | エア オペレート | ベローズシール | 複動 | ボディ:SCS13(SUS304相当) ベローズ:SUS316L | 16~80 注) |
XMD/XYD | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動 (N.C.) | ボディ:SCS13(SUS304相当) ベローズ:SUS316L | 25~80 |
XMH/XYH | 手動 | ベローズシール | 手動 | ボディ:SCS13(SUS304相当) ベローズ:SUS316L | 16~50 注) |
常時閉型高真空電磁弁 XSA
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・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力:最大25%削減
・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg
シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
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XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | フェースシール継手 コンプレッション継手 | 1/4, 3/8 |
XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |
スムーズベントバルブ XVD
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・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
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XVD | 常時閉 (加圧開・スプリングシール) | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |