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高真空阀

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常闭型高真空电磁阀 XSA

产品特点
    ・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)
    ・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
    ・备有2种接头、内螺纹
    ・消耗功率：最大减少25%
    ・重量：最大减轻18%　0.5kg→0.41kg
安全注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XSA常闭空气
惰性气体		面密封接头
卡套式接头		1/4, 3/8
XSA常闭空气
惰性气体		Rc, NPT内螺纹1/8, 1/4, 3/8

平稳通气阀 XVD

    ・阀和针阀一体化的结构，配管空间减少1/4（与以前产品相比）
    ・密封部采用金属膜片，微粒大幅减少
    ・可同时对初期供气、主供气进行流量调整
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XVD常闭
（加压打开・弹簧密封）		氮气、空气、
惰性气体等		VCR®
Swagelok®		1/4B

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