高真空阀
铝制高真空L型阀 XL□
| 系列 | 操作方式 | 阀形式 | 轴密封 方式 | 用途 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | 气控式 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～160 |
| XLAV（带电磁阀） | 气控式 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～160 |
| XLC | 气控式 | 双作用 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～160 |
| XLCV（带电磁阀） | 气控式 | 双作用 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～80 |
| XLF | 气控式 | 单作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLFV（带电磁阀） | 气控式 | 单作用 （N.C.） | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLG | 气控式 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLGV（带电磁阀） | 气控式 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～80 |
| XLD | 气控式 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25～160 |
| XLDV（带电磁阀） | 气控式 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25～160 |
| XLH | 手动式 | 手动 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～50 |
| XLS | 电磁式 | 单作用 （N.C.） | (波纹管平衡) | 无需空气 可搬运装置用 | 16，25 |
产品特点
Uniform baking temperature
Excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve.
Lightweight, Compact
Large conductance, small body, excellent resistance against fluorine corrosion (body)
Low outgassing
Low outgassing makes it possible to use a lower capacity pump and also to shorten exhaust time.
Little heavy metal contamination
The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.
(Bellows seal type)
Bellows assembly can be replaced which reduces maintenance costs and waste materials.
・Ambient temperature: Max. 150° C (Sensor)
・2-color indicator
For 100/120° C
