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真空破坏单元

真空、破坏单元 VQD1000-V

    ・适合0603芯片。
    ・响应速度:13msec(500mm时※)/18.5msec(1000mm时※)。
    ・可实现无超调的平滑工件脱离。
    ・无需调节真空、正压的切换时点。
    ・不需要破坏空气的节流回路。
    ・真空过滤器:ZFC050(订制规格)。


    ※真空、破坏单元到工件的距离。

产品特点

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