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缝阀

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对应300mm晶片 平行密封型缝阀 XGTP

    ・长寿命：300万次（常温时）
    ・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）
    ・维护性提高
    　容易更换波纹管
    　可通过顶部拆装门（订制）
    ・安全对策
    　采用机械式端锁机构
  • 对应300mm晶片 平行密封型缝阀 XGTP
    说明书
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安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGTP大气压～10-6惰性气体50×3360.45～0.6

缝阀 XGT

    ・适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔室
    　及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGT大气压～10-6惰性气体类相关真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

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