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工艺气体元件

隔膜阀 高纯度工艺气体用 AP

    ・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
    ・可作为气体的切断阀使用。
    ・接触气体部分无弹簧,驱动部也使用膜片隔离,因此减小了气路的死区,抑制了粒子的产生。
系列名称形式主体材质
AP高纯度工艺气体用气控型隔膜阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用手控型隔膜阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用计量阀SUS316L
二次熔炼
AZ高纯度工艺气体用气控型隔膜阀SUS316L
AZ高纯度工艺气体用手控型隔膜阀SUS316L
AZ高纯度工艺气体用计量阀SUS316L
AK一般气体用气控型隔膜阀SUS316
AK一般气体用手控型隔膜阀SUS316
AK一般气体用计量阀SUS316

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