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流量开关

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2色显示 数字式流量开关 PFM

    ・可用于空气、N2、Ar、CO2
    ・无润滑脂规格。
    ・与流量调整阀一体化。
    ・体积小、重量轻、省空间。

    ※PFM系列于2022年3月停止生产。
     请选择PF2M710/725/750/711系列。
系列额定流量范围(L/min)
PFM0.2~10(0.2~5)
0.5~25(0.5~12.5)
1~50(1~25)
2~100(2~50)
( )为CO2的场合

2色显示 数字式流量传感器 PFMB

    ・适合干燥空气、N2
    ・无润滑脂规格
    ・流量调节阀一体化
    ・小型、省空间

    ※PFMB7201系列已于2021年9月停产。
     请选择PF2M721系列。
系列额定流量范围 (L/min)
PFMB2~200
5~500
10~1000
20~2000

2色显示式数字式流量开关/低发尘规格 PF2M7-X300

    ・低发尘规格
     用于洁净室环境中,洁净空气吹气的流量管理。
    ・接触流体部分的金属材质:SUS304。
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  • 2色显示式数字式流量开关/低发尘规格 PF2M7-X300
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系列额定流量范围(L/min)
PF2M7-X3000.2 to 10(0.2 to 5)
0.5 to 25(0.5 to 12.5)
1 to 50(1 to 25)
2 to 100(2 to 50)
( ): For CO2

流量传感器 PFMV5/PFGV301

    ・微小工件的吸着确认
    ・重复精度±2%F.S.
    ・响应速度:5ms以下、耐压:500kPa
    ・无润滑脂、RoHS对应
    ・电压显示器 1个可对应全部量程
    ・相关元件:真空过滤器 ZFC050系列
系列额定流量范围(L/min)
PFMV0.0~0.1
0~0.5
0~1
0~3
-0.5~0.5
-1~1
-3~3

空气用数字式流量开关 PF2A

    ・有一体型和显示器分离型。
    ・开关输出、累积脉冲输出、模拟输出。
    ・可切换累积流量、瞬时流量。
    ・IP65。
    ・4通道流量显示器。
     可将4个不同流量范围的开关连接于1个控制器。

    ※PF2A7□H系列于2018年1月进行产品变更,请选择 PF3A7□H系列。
系列额定流量范围(L/min)
PF2A1~10
5~50
10~100
20~200
50~500
150~3000
300~6000
600~12000

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