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气源处理元件

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直通型空气过滤器 ZFC5□/7□-X05

    ・使用压力范围：－100kPa～1.0MPa
    　1台即可用于正压，也可用于真空
    ・带锁紧机构
    　正压时，防止由于松动造成的零部件飞出
    ・密封（FKM＋禁油处理）：-X05（订制品）

    注）供给压力0.1MPa、差圧30kPa
安全注意事项　真空用元件/共通注意事项　扩展品/选型
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列适合管子外径
公制		适合管子外径
英制		流量 L/min（ANR）注）
正压		流量 L/min（ANR）注）
真空压		过滤精度
（μm）
ZFC5□-X05φ4、φ6φ5/32''、φ1/4''100/20010/205
ZFC7□-X05φ6、φ8 、φ10、φ12φ1/4''、φ5/16''、φ3/8''250/450/550/65030/70/80/1005

洁净型气体过滤器 SF

    ・采用可更换滤芯的夹头型。
    　(SFA100・200・300，SFB100)
    ・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
    　(SFB300，SFC100)
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
形式系列使用压力过滤精度
夹头型
圆盘式		SFA100・200・300最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
夹头型
直通式		SFB100最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
一次性型
直通式		SFB300最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
一次性型
多盘型		SFC100最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）

洁净型空气过滤器　中空类滤芯 SFD

    ・内置中空类滤芯
    ・压降：0.03MPa（1次压0.7MPa、最大流量时）
    ・减少了污染环境的化学物质，符合RoHS
    ・金属壳体型(订制)
    　不锈钢壳体、铝制壳体
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项　选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列种类额定流量 L/min (ANR)
(进口压力 0.7 MPa时)		使用压力过滤精度
SFD100一次性
（不可更换滤芯）		～100L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）
SFD110一次性
（不可更换滤芯）		～120L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）
SFD200卡盒型
（可更换滤芯）		～500L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）

洁净型空气模块 LLB

    ・将洁净元件模块化（削减配管工时／省空间）。
    　可轻松地得到洁净空气。
    ・过滤精度：0.01μm（捕捉效率99.99％）。
    ・接触流体部分：无润滑脂、无硅。
    ・在洁净室内进行双重捆包后出厂。
    ・有24种组合。

    注）入口空气条件 ISO 8573-1 品质等级 相当于1.4.1～1.6.1。
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项　选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用流体设定压力流量范围 L/min（ANR）
LLB3洁净空气
N2气体 注）		0.05～0.4MPa5～100
LLB4洁净空气
N2气体 注）		0.05～0.4MPa50～500

洁净型空气模块 LLB-X100

    ・一体型单元化设计，减少施工工时
    ・可对应最大流量100L/min的小型工件的洁净空气吹气
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用流体流量范围L/min（ANR）
LLB1-525洁净空气
N2气体		0.5〜25
LLB1-550洁净空气
N2气体		1〜50
LLB1-511洁净空气
N2气体		2〜100

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