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温控器(循环液温控装置)

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温控器/标准型 HRS

    ・风冷式设置简单、操作简单,在任何需要的地方都能得到冷却水
    ・激光加工机/分析装置/LCD制造装置/模具温控等广泛用途中成果较多
    ・小型 W377×H615×D500mm、40kg(HRS012/018/024)
    ・定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能等
    ・自我诊断功能
    ・最适合日本以外市场用装置(单相AC200~230V、单相AC100V, 115V)
    ・符合CE认证、UL标准

    ※可提供样机试用服务。
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  • 温控器/标准型 HRS
    说明书
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    HRS012〜0601.3kW, 1.9kW, 2.4kW
    3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
    (60Hz时)
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  • 温控器/标准型 HRS
    自我宣告书
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    HRS012〜0601.3kW, 1.9kW, 2.4kW
    3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
    (60Hz时)
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系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS012〜0605~40℃1.3kW, 1.9kW, 2.4kW
3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
(60Hz时)
±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)

温控器/低温型 HRS040-A-20-T1-X158/X164

    ・对应低温/-10℃
    ・紧凑:与HRS040尺寸相同
    ・冷却能力:1kW(-10℃时)
    ・温度稳定性:±0.1℃
    ・设定温度范围:-10℃~40℃
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRS040-A-20-T1-X158
HRS040-A-20-T1-X164
−10~40℃1kW±0.1℃风冷冷冻式乙二醇水溶液(50%)

温控器/耐环境规格 HRS-R

    ・对应有粉尘、飞沫、水的环境
    ・电装部分防护等级:IP54
    ・金属面板
     外装部全部为金属面板
     可选择不锈钢面板(可选项)
    ・可选择大容量储液罐(12L)(可选项)
    ・环境温度:5~45℃
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRS-R5~40℃1.9kW, 2.9kW, 5kW
(60Hz时)
±0.1℃风冷冷冻式清水
乙二醇水溶液(15%)

温控器/标准型 HRS090

    ・轻量・紧凑
    ・冷却能力:9kW
    ・温度稳定性:±0.5°C
    ・设定温度范围:5~35°C
    ・最高使用环境温度:45°C
    ・电源:三相AC200~230V、AC380~415V、AC460~480V
系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS0905~35℃9kW(60Hz时)±0.5℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)

温控器/标准型 HRS100/150

    ・无需加热器,也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液
    ・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格
    ・静音设计:70dB(A)
    ・室外设置:IPX4
    ・小型・省空间

    ※提供样机试用服务
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  • 温控器/标准型 HRS100/150
    说明书
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    HRS100
    HRS150
    9.5kW, 14.5kW
    (60Hz时)
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系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS100
HRS150
5〜35℃9.5kW, 14.5kW
(60Hz时)
±1.0℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)

对应低GWP冷媒的温控器 标准型  HRSF150/200

    ・对应低GWP冷媒
     GWP:148※ ※ IPCC AR4标准
      EU冷媒管制:GWP 150以上
      美国冷媒管制:GWP 700以上
      加利福尼亚州冷媒管制:GWP 750以上
    ・环境对应冷媒R454C (不可空运)
    ・即使不需要加热器,通过利用冷冻回路的排热也可以加热循环液
    ・电源可对应欧盟・亚洲・大洋洲・北美・中南美
     三相AC400V
    ・静音设计70dB(A)
    ・室外设置:IPX4
系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRSF150
HRSF200
5~35℃15.7kW
20.5kW(风冷)
20.6kW(水冷)
±1.0℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
乙二醇水溶液15〜40%
脱离子水(纯水)

标准型温控器 风冷460V规格 HRS200

    ・3相 AC380~415V(50Hz)、3相 AC460~480V(60Hz)
    ・可利用冷冻回路的排热加热循环液,无需加热器。
    ・可设置于室外:IPX4
    ・体积小、省空间
系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS2005〜35℃20.5kW±1.0℃风冷冷冻式清水
去离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)

温控器/标准型 HRS400

    ・冷却能力:38kW
    ・电源:3相 380~415V(50Hz/60Hz)
        3相 460~480V(60Hz)
    ・设定温度范围:5~35℃
    ・最高使用环境温度:45℃
    ・温度稳定性:±0.1℃
    ・带加热功能
    ・浸液式泵(无机械式密封)
    ・防水结构:IPX4
    ・采用触摸屏 设定、操作、可视性提高
系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS4005〜35℃38kW±0.1℃风冷冷冻式清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)

温控器/变频型 HRSH090

    ・消耗功率减小53%。
     三变频实现了出色的节能效果!
    ・冷却能力:9.5kW(风冷)、11.0kW(水冷)
    ・温度稳定性:±0.1℃
    ・温度设定范围:5℃〜40℃

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系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRSH0905~40℃9.5kW±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)

温控器/变频型 HRSH

    ・三变频实现了出色的节能效果!
    ・可设置于室外的防滴规格(IPX4)
    ・最高使用环境温度 45℃
    ・最低使用环境温度 -20℃(风冷式)
    ・温度稳定性 ±0.1℃(负载稳定时)
    ・省空间、重量轻 280kg(25kW型)
    ・符合CE标识、UL

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  • 温控器/变频型 HRSH
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    HRSH10kW, 15kW, 20kW
    25kW, 28kW
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  • 温控器/变频型 HRSH
    自我宣告书
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    HRSH10kW, 15kW, 20kW
    25kW, 28kW
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系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRSH5~35℃10kW, 15kW, 20kW
25kW, 28kW
±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)

温控器/基本型 HRSE

    ・三重控制实现了大幅节能!
     消耗功率降低33%
    ・体积小、重量轻 32kg (AC100V规格)
    ・无需维护:磁力泵
    ・静音设计:55dB(A)

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系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式
HRSE风冷冷冻式1.2kW, 1.6kW, 2.2kW (60Hz时)±2.0℃风冷冷冻式

温控器/激光用精密型 HRL

    ・1台温控器可对2个系统分别控制
    ・省空间/省配线
     设置面积减小22%
     电源系统:只需1个
    ・节能
     消耗功率降低30%
    ・采用触摸屏
    ・电源:三相AC200V(50Hz)
        三相AC200~230V(60Hz)
        三相AC380〜415V(50/60Hz)
        三相AC460~480V(60Hz)
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRL100
HRL200
HRL300
HRL400
CH1:5~35℃
CH2:10~40℃
CH1:9kw,19kW,26kW,37kW
CH2:1.0kW(最大1.5kW)
CH1:±0.1
CH2:±0.5
风冷冷冻式
水冷冷冻式
CH1:清水
CH2:清水、脱离子水(纯水)

温控器/激光用小型双通道型/基本型 HRLE

    ・1台温控器可对2个系统分别控制
    ・省空间/省配线
     设置面积减小21%
     电源系统:只需1个
    ・节能
     消耗功率降低17%
系列设定温度范围冷却能力
(通道1,、2总共)
温度稳定性冷却方式循环液
HRLE050-A通道1:15~25℃
通道2:通道1温度 + 0~15℃
4.8kW/5.8k
(50Hz/60Hz)
通道1:±0.1
通道2:±0.5
风冷
冷冻式
清水、脱离子水(纯水)
HRLE050-W通道1:15~25℃
通道2:通道1温度 + 0~15℃
4.8kW/5.8k
(50Hz/60Hz)
通道1:±0.1
通道2:±0.5
水冷
冷冻式
清水、脱离子水(纯水)
HRLE090-A通道1:15~25℃
通道2:通道1温度 + 0~15℃
8.0kW/9.5kW
(50Hz/60Hz)
通道1:±0.1
通道2:±0.5
风冷
冷冻式
清水、脱离子水(纯水)
HRLE090-W通道1:9kw,19kW,26kW
通道2:1.0kW(最大1.5kW)
9.5kW/11.0kW
(50Hz/60Hz)
通道1:±0.1
通道2:±0.5
水冷
冷冻式
清水、脱离子水(纯水)

温控器/机架安装型 HRR

    ・可在安装于机架的状态下作业
     前面拆装:可从前面设定、调整、维护
    ・省空间
     19英寸机架上可安装数台
    ・冷却能力:1.2/1.8/2.4/3.0kW/5.1kW(60Hz)
    ・温度稳定性:±0.1℃
    ・全球通用电源:单相AC100V(50/60Hz)/单相AC115V(60Hz)
            单相AC200~230V(50/60Hz)

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  • 温控器/机架安装型 HRR
    说明书
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    HRR1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW查看搜索结果
  • 温控器/机架安装型 HRR
    自我宣告书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRR1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW查看搜索结果
系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRR10~35℃
15~35℃
1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
乙二醇水溶液(15%)

符合欧盟F-Gas(含氟气体)法规的冷冻式温控器 HRZ-F

    ・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能
    ・节能
     按照客户设备的负载, 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制
     消耗功率:Max65%削減
     冷却水量:Max67%削減
    ・高性能
     温度稳定性:±0.1℃(负载稳定时)
     冷却时间:最多缩短46%(与本公司产品相比)
    ・使用冷媒:R410A(HFC)/R448A(HFC/HFO)
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRZ-F-20~40℃
10~60℃
-20~90℃
2kW, 4kW
8kW, 10kW
±0.1℃水冷冷冻式氟化液
乙二醇水溶液
清水及去离子水(纯水)

温控器/高性能型 HRZ

    ・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业
    ・符合各种安全规格
    ・符合UL, SEMI规格以及CE标识

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  • 温控器/高性能型 HRZ
    说明书
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    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW
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  • 温控器/高性能型 HRZ
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    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW
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シリーズ设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRZ-20~40℃
20~90℃
-20~90℃
1kW, 2kW
4kW, 8kW
±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)

温控器/高性能变频型 HRZ

    ・在HRZ系列的高性能基础上,采用了DC变频压缩机,实现了节能
    ・温度范围和冷却能力范围大
    ・用于刷新循环块的半导体装置等,可平缓地对应过程条件的变化
    ・符合UL, SEMI规格及CE标识

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  • 温控器/高性能变频型 HRZ
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    HRZ10kW查看搜索结果
  • 温控器/高性能变频型 HRZ
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    HRZ10kW查看搜索结果
系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRZ-20~90℃
10~60℃
10kW±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)

双温控器/高性能变频型 HRZD

    ・1台深冷器可分别控制2个系統
    ・双变频器:DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
    ・省空间:设置面积减小23%
    ・省配线、省空间、省工时:电源线缆只有1根,冷却水配管仅有1个系統
    ・符合SEMI规格、CE标识

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  • 2D CAD
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  • 双温控器/高性能变频型 HRZD
    说明书
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    HRZD9.5kW×2查看搜索结果
  • 双温控器/高性能变频型 HRZD
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    HRZD9.5kW×2查看搜索结果
系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRZD-30~90℃9.5kW×2±0.1℃水冷冷冻式氟化液
乙二醇水溶液(60%)

对应低GWP冷媒的冷冻式温控器 HRZF

    ・对应低GWP冷媒
     GWP:148 ※ IPCC AR4基准
      EU冷媒管制:GWP 150以上
      美国冷媒管制:GWP 700以上
      加利福尼亚州冷媒管制:GWP 750以上
    ・环境对应冷媒R454C(不可空运)
    ・采用DC变频冷冻机和变频泵,实现大幅度节能。
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRZF010-20〜90℃10kW±0.1℃水冷冷冻式氟化液 乙二醇60%水溶液

水冷式温控器/高性能型 HRW

    ・与工厂内循环水直接热交换
    ・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
    ・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置,
     在半导体过程控制装置上成果较多
    ・符合UL、SEMI标准、CE认证
    ・可选择变频型

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  • 水冷式温控器/高性能型 HRW
    说明书
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    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW
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  • 水冷式温控器/高性能型 HRW
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    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW
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系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRW20~90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW
±0.3℃水冷却式
(无压缩机)
氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)

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