温控器(循环液温控装置)
温控器/标准型 HRS
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS012〜060 | 5~40℃ | 1.3kW, 1.9kW, 2.4kW 3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW (60Hz时) | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/低温型 HRS040-A-20-T1-X158/X164
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS040-A-20-T1-X158 HRS040-A-20-T1-X164 | −10~40℃ | 1kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 | 乙二醇水溶液(50%) |
温控器/耐环境规格 HRS-R
-
・对应有粉尘、飞沫、水的环境
・电装部分防护等级:IP54
・金属面板
外装部全部为金属面板
可选择不锈钢面板(可选项)
・可选择大容量储液罐(12L)(可选项)
・环境温度:5~45℃
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS-R | 5~40℃ | 1.9kW, 2.9kW, 5kW (60Hz时) | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 | 清水 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/标准型 HRS090
-
・轻量・紧凑
・冷却能力:9kW
・温度稳定性:±0.5°C
・设定温度范围:5~35°C
・最高使用环境温度:45°C
・电源:三相AC200~230V、AC380~415V、AC460~480V
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS090 | 5~35℃ | 9kW(60Hz时) | ±0.5℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/标准型 HRS100/150
-
・无需加热器,也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液
・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格
・静音设计:70dB(A)
・室外设置:IPX4
・小型・省空间
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系。
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS100 HRS150 | 5〜35℃ | 9.5kW, 14.5kW (60Hz时) | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
对应低GWP冷媒的温控器 标准型 HRSF150/200
-
・对应低GWP冷媒
GWP:148※ ※ IPCC AR4标准
EU冷媒管制:GWP 150以上
美国冷媒管制:GWP 700以上
加利福尼亚州冷媒管制:GWP 750以上
・环境对应冷媒R454C (不可空运)
・即使不需要加热器,通过利用冷冻回路的排热也可以加热循环液
・电源可对应欧盟・亚洲・大洋洲・北美・中南美
三相AC400V
・静音设计70dB(A)
・室外设置:IPX4
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRSF150 HRSF200 | 5~35℃ | 15.7kW 20.5kW(风冷) 20.6kW(水冷) | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 乙二醇水溶液15〜40% 脱离子水(纯水) |
标准型温控器 风冷460V规格 HRS200
-
・3相 AC380~415V(50Hz)、3相 AC460~480V(60Hz)
・可利用冷冻回路的排热加热循环液,无需加热器。
・可设置于室外:IPX4
・体积小、省空间
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS200 | 5〜35℃ | 20.5kW | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 | 清水 去离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/标准型 HRS400
-
・冷却能力:38kW
・电源:3相 380~415V(50Hz/60Hz)
3相 460~480V(60Hz)
・设定温度范围:5~35℃
・最高使用环境温度:45℃
・温度稳定性:±0.1℃
・带加热功能
・浸液式泵(无机械式密封)
・防水结构:IPX4
・采用触摸屏 设定、操作、可视性提高
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS400 | 5〜35℃ | 38kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/变频型 HRSH090
-
・消耗功率减小53%。
三变频实现了出色的节能效果!
・冷却能力:9.5kW(风冷)、11.0kW(水冷)
・温度稳定性:±0.1℃
・温度设定范围:5℃〜40℃
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRSH090 | 5~40℃ | 9.5kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/变频型 HRSH
-
・三变频实现了出色的节能效果!
・可设置于室外的防滴规格(IPX4)
・最高使用环境温度 45℃
・最低使用环境温度 -20℃(风冷式)
・温度稳定性 ±0.1℃(负载稳定时)
・省空间、重量轻 280kg(25kW型)
・符合CE标识、UL
※提供样机试用服务
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRSH | 5~35℃ | 10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/基本型 HRSE
-
・三重控制实现了大幅节能!
消耗功率降低33%
・体积小、重量轻 32kg (AC100V规格)
・无需维护:磁力泵
・静音设计:55dB(A)
※提供样机借用服务
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 |
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HRSE | 风冷冷冻式 | 1.2kW, 1.6kW, 2.2kW (60Hz时) | ±2.0℃ | 风冷冷冻式 |
温控器/激光用精密型 HRL
-
・1台温控器可对2个系统分别控制
・省空间/省配线
设置面积减小22%
电源系统:只需1个
・节能
消耗功率降低30%
・采用触摸屏
・电源:三相AC200V(50Hz)
三相AC200~230V(60Hz)
三相AC380〜415V(50/60Hz)
三相AC460~480V(60Hz)
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRL100 HRL200 HRL300 HRL400 | CH1:5~35℃ CH2:10~40℃ | CH1:9kw,19kW,26kW,37kW CH2:1.0kW(最大1.5kW) | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | CH1:清水 CH2:清水、脱离子水(纯水) |
温控器/激光用小型双通道型/基本型 HRLE
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 (通道1,、2总共) | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRLE050-A | 通道1:15~25℃ 通道2:通道1温度 + 0~15℃ | 4.8kW/5.8k (50Hz/60Hz) | 通道1:±0.1 通道2:±0.5 | 风冷 冷冻式 | 清水、脱离子水(纯水) |
HRLE050-W | 通道1:15~25℃ 通道2:通道1温度 + 0~15℃ | 4.8kW/5.8k (50Hz/60Hz) | 通道1:±0.1 通道2:±0.5 | 水冷 冷冻式 | 清水、脱离子水(纯水) |
HRLE090-A | 通道1:15~25℃ 通道2:通道1温度 + 0~15℃ | 8.0kW/9.5kW (50Hz/60Hz) | 通道1:±0.1 通道2:±0.5 | 风冷 冷冻式 | 清水、脱离子水(纯水) |
HRLE090-W | 通道1:9kw,19kW,26kW 通道2:1.0kW(最大1.5kW) | 9.5kW/11.0kW (50Hz/60Hz) | 通道1:±0.1 通道2:±0.5 | 水冷 冷冻式 | 清水、脱离子水(纯水) |
温控器/机架安装型 HRR
-
・可在安装于机架的状态下作业
前面拆装:可从前面设定、调整、维护
・省空间
19英寸机架上可安装数台
・冷却能力:1.2/1.8/2.4/3.0kW/5.1kW(60Hz)
・温度稳定性:±0.1℃
・全球通用电源:单相AC100V(50/60Hz)/单相AC115V(60Hz)
单相AC200~230V(50/60Hz)
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRR | 10~35℃ 15~35℃ | 1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 乙二醇水溶液(15%) |
符合欧盟F-Gas(含氟气体)法规的冷冻式温控器 HRZ-F
-
・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能
・节能
按照客户设备的负载, 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制
消耗功率:Max65%削減
冷却水量:Max67%削減
・高性能
温度稳定性:±0.1℃(负载稳定时)
冷却时间:最多缩短46%(与本公司产品相比)
・使用冷媒:R410A(HFC)/R448A(HFC/HFO)
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZ-F | -20~40℃ 10~60℃ -20~90℃ | 2kW, 4kW 8kW, 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液 清水及去离子水(纯水) |
温控器/高性能型 HRZ
-
・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
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シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |
温控器/高性能变频型 HRZ
-
・在HRZ系列的高性能基础上,采用了DC变频压缩机,实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等,可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZ | -20~90℃ 10~60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |
双温控器/高性能变频型 HRZD
-
・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器:DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间:设置面积减小23%
・省配线、省空间、省工时:电源线缆只有1根,冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZD | -30~90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液(60%) |
对应低GWP冷媒的冷冻式温控器 HRZF
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・对应低GWP冷媒
GWP:148※ ※ IPCC AR4基准
EU冷媒管制:GWP 150以上
美国冷媒管制:GWP 700以上
加利福尼亚州冷媒管制:GWP 750以上
・环境对应冷媒R454C(不可空运)
・采用DC变频冷冻机和变频泵,实现大幅度节能。
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZF010 | -20〜90℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇60%水溶液 |
水冷式温控器/高性能型 HRW
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・与工厂内循环水直接热交换
・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置,
在半导体过程控制装置上成果较多
・符合UL、SEMI标准、CE认证
・可选择变频型
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRW | 20~90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 (无压缩机) | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |