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高真空阀

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常闭型高真空电磁阀 XSA

    ・最低使用压力:1×10-6Pa(abs)
    ・泄漏量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。
    ・有2种接头和内螺纹可选。
    ・消耗功率:最多削减25%。
    ・质量:最多减小18% 0.5kg→0.41kg。
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XSA常闭空气
惰性气体
面密封接头
卡套式接头
1/4, 3/8
XSA常闭空气
惰性气体
Rc, NPT内螺纹1/8, 1/4, 3/8

平稳排气阀 XVD

    ・阀与针阀一体化,配管空间为原来的1/4。
    ・密封部采用金属膜片,大幅减少了微粒的产生。
    ・初始供气、主給気可同时进行流量调节。
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XVD常闭
(加压开・弹簧密封)
氮气、空气、
惰性气体等
VCR®
Swagelok®
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