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气源处理元件

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直通型空气过滤器 ZFC5□/7□-X05

    ・使用压力范围:-100kPa~1.0MPa
     1台即可用于正压,也可用于真空
    ・带锁紧机构
     正压时,防止由于松动造成的零部件飞出
    ・密封(FKM+禁油处理):-X05(订制品)

    注)供给压力0.1MPa、差圧30kPa
系列适合管子外径
公制
适合管子外径
英制
流量 L/min(ANR)注)
正压
流量 L/min(ANR)注)
真空压
过滤精度
(μm)
ZFC5□-X05φ4、φ6φ5/32''、φ1/4''100/20010/205
ZFC7□-X05φ6、φ8 、φ10、φ12φ1/4''、φ5/16''、φ3/8''250/450/550/65030/70/80/1005

洁净型气体过滤器 SF

    ・采用可更换滤芯的夹头型。
     (SFA100・200・300,SFB100)
    ・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
     (SFB300,SFC100)
形式系列使用压力过滤精度
夹头型
圆盘式
SFA100・200・300最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
夹头型
直通式
SFB100最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
直通式
SFB300最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
多盘型
SFC100最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)

洁净型空气过滤器 中空类滤芯 SFD

    ・内置中空类滤芯
    ・压降:0.03MPa(1次压0.7MPa、最大流量时)
    ・减少了污染环境的化学物质,符合RoHS
    ・金属壳体型(订制)
     不锈钢壳体、铝制壳体
系列种类额定流量 L/min (ANR)
(进口压力 0.7 MPa时)
使用压力过滤精度
SFD100一次性
(不可更换滤芯)
~100L/min最高1.0MPa0.01μm
(捕捉效率:99.99%)
SFD110一次性
(不可更换滤芯)
~120L/min最高1.0MPa0.01μm
(捕捉效率:99.99%)
SFD200卡盒型
(可更换滤芯)
~500L/min最高1.0MPa0.01μm
(捕捉效率:99.99%)

洁净型空气模块 LLB

    ・将洁净元件模块化(削减配管工时/省空间)。
     可轻松地得到洁净空气。
    ・过滤精度:0.01μm(捕捉效率99.99%)。
    ・接触流体部分:无润滑脂、无硅。
    ・在洁净室内进行双重捆包后出厂。
    ・有24种组合。

    注)入口空气条件 ISO 8573-1 品质等级 相当于1.4.1~1.6.1。
系列使用流体设定压力流量范围 L/min(ANR)
LLB3洁净空气
N2气体 注)
0.05~0.4MPa5~100
LLB4洁净空气
N2气体 注)
0.05~0.4MPa50~500

洁净型空气模块 LLB-X100

    ・一体型单元化设计,减少施工工时
    ・可对应最大流量100L/min的小型工件的洁净空气吹气
系列使用流体流量范围L/min(ANR)
LLB1-525洁净空气
N2气体
0.5〜25
LLB1-550洁净空气
N2气体
1〜50
LLB1-511洁净空气
N2气体
2〜100

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