其他 对应RS485的元件
温控器/高性能型 HRZ
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・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
※提供样机试用服务
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シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |
温控器/标准型 HRS
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS012〜060 | 5~40℃ | 1.3kW, 1.9kW, 2.4kW 3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW (60Hz时) | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/耐环境规格 HRS-R
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・对应有粉尘、飞沫、水的环境
・电装部分防护等级:IP54
・金属面板
外装部全部为金属面板
可选择不锈钢面板(可选项)
・可选择大容量储液罐(12L)(可选项)
・环境温度:5~45℃
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS-R | 5~40℃ | 1.9kW, 2.9kW, 5kW (60Hz时) | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 | 清水 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/标准型 HRS090
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・轻量・紧凑
・冷却能力:9kW
・温度稳定性:±0.5°C
・设定温度范围:5~35°C
・最高使用环境温度:45°C
・电源:三相AC200~230V、AC380~415V、AC460~480V
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS090 | 5~35℃ | 9kW(60Hz时) | ±0.5℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/标准型 HRS100/150
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・无需加热器,也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液
・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格
・静音设计:70dB(A)
・室外设置:IPX4
・小型・省空间
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS100 HRS150 | 5〜35℃ | 9.5kW, 14.5kW (60Hz时) | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
标准型温控器 风冷460V规格 HRS200
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・3相 AC380~415V(50Hz)、3相 AC460~480V(60Hz)
・可利用冷冻回路的排热加热循环液,无需加热器。
・可设置于室外:IPX4
・体积小、省空间
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRS200 | 5〜35℃ | 20.5kW | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 | 清水 去离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/变频型 HRSH090
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・消耗功率减小53%。
三变频实现了出色的节能效果!
・冷却能力:9.5kW(风冷)、11.0kW(水冷)
・温度稳定性:±0.1℃
・温度设定范围:5℃〜40℃
※提供样机试用服务
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRSH090 | 5~40℃ | 9.5kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/变频型 HRSH
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・三变频实现了出色的节能效果!
・可设置于室外的防滴规格(IPX4)
・最高使用环境温度 45℃
・最低使用环境温度 -20℃(风冷式)
・温度稳定性 ±0.1℃(负载稳定时)
・省空间、重量轻 280kg(25kW型)
・符合CE标识、UL
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRSH | 5~35℃ | 10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(15%) |
温控器/激光用精密型 HRL
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・1台温控器可对2个系统分别控制
・省空间/省配线
设置面积减小22%
电源系统:只需1个
・节能
消耗功率降低30%
・采用触摸屏
・电源:三相AC200V(50Hz)
三相AC200~230V(60Hz)
三相AC380〜415V(50/60Hz)
三相AC460~480V(60Hz)
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRL100 HRL200 HRL300 HRL400 | CH1:5~35℃ CH2:10~40℃ | CH1:9kw,19kW,26kW,37kW CH2:1.0kW(最大1.5kW) | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | CH1:清水 CH2:清水、脱离子水(纯水) |
温控器/机架安装型 HRR
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・可在安装于机架的状态下作业
前面拆装:可从前面设定、调整、维护
・省空间
19英寸机架上可安装数台
・冷却能力:1.2/1.8/2.4/3.0kW/5.1kW(60Hz)
・温度稳定性:±0.1℃
・全球通用电源:单相AC100V(50/60Hz)/单相AC115V(60Hz)
单相AC200~230V(50/60Hz)
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRR | 10~35℃ 15~35℃ | 1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 乙二醇水溶液(15%) |
符合欧盟F-Gas(含氟气体)法规的冷冻式温控器 HRZ-F
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・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能
・节能
按照客户设备的负载, 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制
消耗功率:Max65%削減
冷却水量:Max67%削減
・高性能
温度稳定性:±0.1℃(负载稳定时)
冷却时间:最多缩短46%(与本公司产品相比)
・使用冷媒:R410A(HFC)/R448A(HFC/HFO)
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZ-F | -20~40℃ 10~60℃ -20~90℃ | 2kW, 4kW 8kW, 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液 清水及去离子水(纯水) |
温控器/高性能变频型 HRZ
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・在HRZ系列的高性能基础上,采用了DC变频压缩机,实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等,可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
※提供样机试用服务
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZ | -20~90℃ 10~60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |
双温控器/高性能变频型 HRZD
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・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器:DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间:设置面积减小23%
・省配线、省空间、省工时:电源线缆只有1根,冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识
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系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZD | -30~90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液(60%) |
对应无含氟气体(CO2冷媒)的冷冻式温控器 HRZC
系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZC | −20~90℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水 溶液60% 脱离子水(纯水)・清水 |