不純物、イオン成分を除去した水のこと。パーティクルフィルタで不純物をろ過した後、さらにイオン交換樹脂でイオン分を除去することで得られる。理論上の比抵抗の限界値は18.3MΩ・cmであるが、実際にその数値までにすることは不可能なので1～10MΩ・cm程度の水を脱イオン水（純水）と呼ぶことが多い。
→渦流ポンプ
