●ARW幅（アンチリセットワインドアップ幅）
PID制御に使用する積分動作の範囲。積分成分が蓄積される
のを抑制するために、積分項目を計算する範囲を指定する
ために用いる値。
●SEMI S8
SEMI S8は、SEMI S2の14項の人間工学に関する要求に加え、さらに詳しい人間工学に関するガイドラインである。
●SEMI F47
SEMI F47はSEMI規格の内、電圧サグイミュニティ（瞬時電圧低下に対する耐性）について規定されたガイドラインである。
温調機器にはSEMI S2と同様に半導体製造ユーザから求められる規格である。
●SEMI S2
SEMIは半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ製造装置と材料メーカの国際的な業界団体で、独自のSEMIスタンダードを半導体製造装置の設計に関する安全ガイドラインとして制定している。
SEMI S2には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生および安全についてその要求事項は、化学、放射、電気、物理、機械、環境、火災、地震、排気、人間工学、さらに、品質、文書、マニュアルなどに及んでいる。
多くの半導体製造者は、工場で稼動する装置に対してSEMIS2に適合することを求める。
●SV値
SV：Set Value 温調機器においては、温度コントロールを行う目標温度（設定温度）を示す。
●エチレングリコール水溶液
エチレングリコールはアルコールの一種で、水に添加することで水の凝固点を下げることができる。自動車用不凍液などの主成分ともなっている。60％濃度での凝固点は約－40℃以下であるが、低温になると粘度が増加するので、流動性を考えると－20℃程度が実用的に使える最低温度である。
また脱イオン水（純水）にエチレングリコールを添加することで、流体の比抵抗を上げることができるので、絶縁性の高い循環液がほしい場合の用途にも使われる。
●NRTL
NRTL（National Recongnized Test Laboratories 国家認定試験機関）
OSHA（米国労働安全局）が定める労働安全衛生法によって認められた、UL規格、CSAなどの認証が行える試験機関のこと。現在18機関がNRTLとして認められている。ULやCSAも認証機関の一つ。
