![高真空](/assets/products/subject/ja-jp/solar/result/high_vacuum/images/mainimg.jpg)
10-6 Paの高真空で使用可能。
真空チャンバの排気系、供給系、仕切系で使用のバルブ。
![](/assets/products/subject/ja-jp/solar/result/high_vacuum/images/high_vacuum_img.jpg)
![](/assets/products/subject/ja-jp/solar/result/high_vacuum/images/high_vacuum01.jpg)
排気系
・アルミ製高真空L 型バルブ | XL Series |
・アルミ製ワンタッチ着脱高真空L 型バルブ | XLAQ・XLDQ Series |
・ステンレス製高真空L 型/ストレート型バルブ | XM/XY Series |
供給系
・高真空ストレート電磁弁 | XSA Series |
・スムーズべントバルブ | XVD Series |
仕切系
・スリットバルブ | XGT Series |
・ドアバルブ(オーダーメイド) | ※詳細はお問合せください。 |
駆動系
・真空ロッドレスシリンダ | CYV Series |