常時閉型高真空電磁弁 XSA
流体制御用機器 » 2・3ポートソレノイドバルブ高真空機器 » 高真空バルブ
ノングリース 窒素(N2)対応機器 » 高真空バルブ
-
・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力:最大25%削減
・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg
シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|
XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | フェースシール継手 コンプレッション継手 | 1/4, 3/8 |
XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |