スムーズベントバルブ XVD
高真空機器 » 高真空バルブノングリース 窒素(N2)対応機器 » 高真空バルブ
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・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
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XVD | 常時閉 (加圧開・スプリングシール) | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
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XVD | 常時閉 (加圧開・スプリングシール) | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |