イオナイザ(イオナイザー)静電気対策機器 » バータイプ/イオナイザIZS40/41/42シリーズ - 製品特長
独自のデュアルAC方式を採用
デュアルAC方式/IZS42
+イオンと-イオンが同時に放出し、+-が均一にワークに到達するため電位振幅が小さくなる。
AC方式
同周期で+イオンと-イオンが帯になって、ワークに到達するため電位振幅が大きくなる。
ガラス基板の除電
定盤からのピックアップ時、
剥離帯電による静電破壊を防止
電気基板の除電
ダイシング後のピックアップ時の剥離帯電による静電破壊を防止
電気基板の除電
・放電による素子破損の防止
・埃の付着防止
ガラス基板の除電
・貼付、放電による破損の防止
・埃の付着防止
除電後(イオンバランス:±30V以内)の運転モードを選択可能
■省エネ運転モード
除電後、イオン発生を停止、消費電力を削減。
■連続除電運転モード
|その他の特長
オートバランスセンサにより調整工数・メンテナンス工数の削減
内蔵タイプ(標準装備)
イオナイザ本体に内蔵、設置場所を選びません。
イオナイザから発生したイオンをアースラインから監視し、+と−のイオン供給量を調整することで、除電エリアのオフセット電圧(イオンバランス)を一定内に維持するよう制御。
高精度タイプ(オプション)
・ワーク付近のイオンバランスを高精度に調整。
・設置高さや外乱の影響による除電エリアのオフセット電圧変化を低減。
・接続した時だけに調整を行う「マニュアル運転モード」と、接続したまま常時調整を行う「オート運転モード」を選択可能。
使用目的に応じて多彩なローメンテナンスカートリッジを選択可能