●カルマン渦式
流れの中に棒状の物体（渦発生体）を置くとその下流側に交互に渦が発生します。この渦はある条件では安定であり、その周波数は流速に比例し以下の式が成り立ちます。
f=k×v
f：渦の周波数、v：流速、k：比例定数（渦発生体の寸法、形状などによって決まる）したがって、この周波数を検出することによって、流量を計測できます。
●空気用
適用流体：空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素
空気の品質等級は、JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●水用
適用流体：水
水50%+エチレングリコール50%
●脱イオン水（純水）・薬液用
適用流体：脱イオン水（純水）
超純水
配管材を腐食させない流体
●熱式(MEMS方式)
メンブレン上に製作された白金薄膜によるヒータ(Rh)を中心に、対称に配置された上流測温センサ(Ru)と、下流測温センサ(Rd)および気体の測温用として周囲温度センサ(Ra)から、本MEMSセンサチップは構成されます。
原理は下図のとおり、RuとRdの抵抗値の差は、流れる気体の流速に比例するため、その抵抗値を測定し演算処理することにより、気体の流れ方向と流速を知ることができます。
Raは気体の温度、または周囲温度の補償用として用いられます。
本フロースイッチの流量単位表示は、L/minを使用していますが、質量流量を0℃, 101.3kPaと、20℃, 101.3kPa状態の換算に切換えが可能です。
空気用
適用流体：空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素
空気の品質等級は、JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●熱式(サーミスタ方式)
流路中に加熱したサーミスタを搭載し、そこに流体を流すと流体はサーミスタから熱を奪います。
サーミスタは熱を奪われることで抵抗値が上昇しますが、上昇率は流体の流速と一意的な関係があるので、この抵抗値を計測することによって流速を検出できます。さらに流体温度や周囲温度を補償するために温度センサも内蔵されていますので、使用温度範囲内では安定した測定ができます。
本フロースイッチの流量単位表示は、L/minを使用していますが、質量流量を0℃, 101.3kPaと、20℃, 101.3kPa状態の換算に切換えが可能です。
