
|耐水
|耐薬品・耐純水(フッ素樹脂)
|耐ガス
蓚酸アルマイト処理により塩酸ガスに対する腐食性が向上。
 
高真空機器
| ・アルミ製高真空L 型バルブ | XL Series | 
| ・アルミ製ワンタッチ着脱高真空L 型バルブ | XLAQ・XLDQ Series | 
| ・ステンレス製高真空L 型/ストレート型バルブ | XM/XY Series | 
| ・スリットバルブ | XGT Series | 
| ・300mmウエハ対応平行スリットバルブ | XGTP Series | 

蓚酸アルマイト処理により塩酸ガスに対する腐食性が向上。
 
高真空機器
| ・アルミ製高真空L 型バルブ | XL Series | 
| ・アルミ製ワンタッチ着脱高真空L 型バルブ | XLAQ・XLDQ Series | 
| ・ステンレス製高真空L 型/ストレート型バルブ | XM/XY Series | 
| ・スリットバルブ | XGT Series | 
| ・300mmウエハ対応平行スリットバルブ | XGTP Series |