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薬液用エアオペレートバルブ／継手一体型 LVC
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ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 薬液用バルブ
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・ボディ材質：New PFA
・同一形状のN.C.／N.O.／複動。
・流体温度100℃に対応。
・マニホールド型式：LLC2，LLC3，LLC4，LLC5
| シリーズ | タイプ | 弁形式 | 適用チューブ外径 | オリフィス径 （mmφ） |
|---|---|---|---|---|
| LVC | エアオペレートタイプ 継手一体型 | N.C.／N.O.／複動 | ミリ：3～25 インチ：1/8～1 | 4～22 |
薬液用エアオペレートバルブ／ねじ込み型 LVA
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・ボディ材質：New PFA／SUS／PPS
・ダイヤフラム材質：PTFE，EPR，NBR選択可能。
・有機溶剤対応
ボディ：SUS、アクチュエータ部：ADC、バッファ：FKM/EPDM選択
・マニホールド型式：LLA2，LLA3，LLA4，LLA5
| シリーズ | タイプ | 弁形式 | 管接続口径 適用チューブ外径 | オリフィス径 （mmφ） |
|---|---|---|---|---|
| LVA | エアオペレートタイプ ねじ込み型 | N.C.／N.O.／複動 | 1/8～1 | 2～22 |
| LVA | エアオペレートタイプ 有機溶剤対応 | N.C.／N.O.／複動 | ミリ：6～19 インチ：1/4～1 | 4～22 |
薬液用バルブ／手動タイプ（継手一体型／ねじ込み型） LVH
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・ボディ材質：New PFA／SUS／PPS
・ロック式・ノンロック式に対応。
・有機溶剤対応
ボディ：SUS、アクチュエータ部：ADC、バッファ：FKM/EPDM選択
・マニホールド型式：LLH2，LLH3，LLH4
| シリーズ | タイプ | 弁形式 | 管接続口径 適用チューブ外径 | オリフィス径 （mmφ） |
|---|---|---|---|---|
| LVH | 手動タイプ （継手一体型／ねじ込み型） | N.C. | ねじ込み型 1/8～1/2 継手一体型 ミリ：φ3～φ12 インチ：1/8～1/2 | 4～12 |
| LVH | 手動タイプ 有機溶剤対応 | N.C. | ミリ：6～19 インチ：1/4～1 | 4～22 |
薬液用エアオペレートバルブ／小型タイプ LVD
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薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
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・小型・省スペースタイプをラインナップ。
配管方向寸法MAX.29％短縮。
・ボディ材質：New PFA
・ダイヤフラム材質：PTFE
・アクチュエータ部材質：PPS，PVDF（LVD-F/FN）
注）チューブ出しはチューブ外径。
| シリーズ | タイプ | 弁形式 | 適用チューブ 外径 注） ミリ | 適用チューブ 外径 注） インチ | オリフィス径 （mmφ） |
|---|---|---|---|---|---|
| LVD | 継手一体型 | N.C.／N.O.／複動 | 3～19 | 1/8～3/4 | 2～16 |
| LVD | チューブ出し | N.C.／N.O.／複動 | 6～19 | 1/4～3/4 | 4～16 |
| LVD-F/FN | LQ1継手一体型 | N.C.／N.O.／複動 | 3～25 | 1/8～1 | 4～22 |
| LVD-F/FN | LQ3継手一体型 | N.C.／N.O.／複動 | 6～25 | 1/4～1 | 4～22 |
| LVD-F/FN | チューブ出し | N.C.／N.O.／複動 | 6～25 | 1/4～1 | 4～22 |
薬液用エアオペレートバルブ／外部ノンメタル LVQ
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・ノンビス一体構造。
アクチュエータ部とボディ部の締結に金属ビスを使用しないノンメタル
構造。
・ボディ材質：New PFA
・ダイヤフラム材質：PTFE
・アクチュエータ部材質：PVDF
注）チューブサイズ。
※薬液用バルブLVQ Seriesのインサート式継手一体型スペースセービング
LQ2継手仕様は、2025年3月に生産中止を予定しております。
LQ1継手仕様でご選定願います。
| シリーズ | タイプ | 弁形式 | 適用チューブ外径 ミリ | 適用チューブ外径 インチ | オリフィス径 （mmφ） |
|---|---|---|---|---|---|
| LVQ | 継手一体型 | N.C.／N.O.／複動 | 3～25 | 1/8〜1 | 4～22 |
| LVQ | スペース セービング タイプ | N.C.／N.O.／複動 | 継手サイズ： 2～6 | 継手サイズ： 2～6 | 4～22 |
| LVQ | チューブ出し | N.C.／N.O.／複動 | 6～25 注） | 1/4〜1 注） | 4～22 |
フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング／インサートブッシュタイプ LQ1
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| シリーズ | 最高使用圧力 | 使用温度（℃） |
|---|---|---|
| LQ1 | 1.0MPa | 0～200 |
フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング／フレアタイプ LQ3
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 管継手／ニードルバルブフッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 管継手＆ニードルバルブ／チューブ
| シリーズ | 最高使用圧力 | 使用温度（℃） |
|---|---|---|
| LQ3 | 1.0MPa | ナット材質PVDF：0～150 ナット材質PFA：0～200 |
フッ素樹脂製ニードルバルブ LVN
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| シリーズ | 適用チューブ外径 ミリ | 適用チューブ外径 インチ | 流量調整範囲（L/min） | オリフィス径（mmφ） |
|---|---|---|---|---|
| LVN | 4～12 | 1/8''～1/2'' | 0～12 | 4.4～10 |
フッ素樹脂製ボアスルーコネクタ LQHB
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 管継手／ニードルバルブ管継手＆チューブ » 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 管継手
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・チューブ位置決めが自由。
チューブは継手本体を貫通しているため、自由な位置でセット可能。
・半導体製造工程における薬液の圧送等に使用可能。
・酸・アルカリ・超純水などの薬液に対応可能。
・材質：New PFA（本体、ナット）、PTFE（コレット）
| シリーズ | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ | 使用温度（℃） |
|---|---|---|---|
| LQHB | φ3～φ25 | φ1/8''～φ1'' | 0～200 |
クリーンレギュレータ／フッ素樹脂タイプ SRF
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータフッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » フッ素樹脂製レギュレータ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 圧力制御機器
圧力制御機器 » レギュレータ
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・接液部材質
ボディ：New PFA
ダイヤフラム：PTFE
・推奨量大流量：20L/min（SRF50）
（入口圧力：0.3MPa、流体：水）
| シリーズ | 型式 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|---|
| SRF | 継手一体型 | φ4～φ19 | φ1/8～φ3/4 | 0.02～0.4 |
| SRF | ナット付 | 継手サイズ：2～6 | 継手サイズ：2～6 | 0.02～0.4 |
| SRF | チューブ出し | - | チューブ外径 φ1/4～φ3/4 | 0.02～0.4 |
フッ素樹脂チューブ TL/TIL
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 管継手＆ニードルバルブ／チューブフッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 管継手＆ニードルバルブ／チューブ » 薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » チューブ
| シリーズ | チューブ外径 ミリサイズ | チューブ外径 インチサイズ | 色 |
|---|---|---|---|
| TL/TIL | 4，6，8，10，12，19 | 1/8''，3/16''，1/4''，3/8'' 1/2''，3/4''，1'' | 半透明 |
FEPチューブ（フッ素樹脂） TH/TIH
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・最高使用圧力2.3MPa以下（20℃時）※
・食品衛生法適合試験に適合。
・FDA（米国食品医薬品局）§177.1550溶出試験に適合。
・使用温度（固定使用）：空気 不活性ガス：－65～200℃
水：0～100℃（凍結なきこと）
※サイズにより異なります。
| シリーズ | チューブ外径 ミリサイズ | チューブ外径 インチサイズ | 色 |
|---|---|---|---|
| TH/TIH | φ4，φ6，φ8，φ10，φ12 | φ1/8''，φ3/16''，φ1/4''，φ3/8''，φ1/2''，φ3/4'' | 半透明、黒、赤、青 |
軟質フッ素樹脂チューブ TD/TID
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・最高使用圧力1.6MPa以下（20℃時）※
・食品衛生法適合試験に適合。
・FDA（米国食品医薬品局）§177.1550溶出試験に適合。
・使用温度（固定使用）：空気 不活性ガス：－65～260℃
水：0～100℃（凍結なきこと）
※サイズにより異なります。
| シリーズ | チューブ外径 ミリサイズ | チューブ外径 インチサイズ | 色 |
|---|---|---|---|
| TD/TID | φ4，φ6，φ8，φ10，φ12 | φ1/8''，φ3/16''，φ1/4'' φ3/8''，φ1/2'' | 半透明 |
