製品選定ガイド
小型圧力センサですので、パット近くにセンサを取付けることが可能です。オートプリセット機能で、設定も簡単です。
簡易的な吸着確認が可能です。パットの近くに取付けられますので、配管による遅れ時間はありません。
ワークに水や油が付着し、圧力センサ部に浸入する場合も、ステンレスダイヤフラムを使用しているので、検出可能です。
エアラインの元圧設定は、デジタル表示を見ながら行います。さらに、運転時の目視確認、元圧低下などの異常にも対応可能です。
気体・流体用のセンサを用いれば、水、油等の元圧確認ができます。
メインチャンバの真空予備室である、ロードロックチャンバ大気圧復帰の検知ができます。
低圧用のセンサ(PSE532-□)を用いれば圧力の微小変動の検知も可能です。オートシフト機能により、元圧変動の影響を低減できます。
フィルタの目詰まりを監視することで、ろ過度の管理や交換時期の管理が可能です。
パージ圧が液面の高さにより変化するため、液面の高さを検出することが可能です。
ダクト内の風量を監視し、送風管理が可能です。