太陽電池製造工程向機器

凹凸や表面に粘性のあるワーク（太陽電池セル）の
吸着搬送が可能。

・非接触チャック

XT661

動作原理
供給ポートから導入されたエアが円筒部側面にあるノズルから噴き出され、円筒部内部で旋回流となり真空を発生させます。（サイクロン効果）
供給エアは吸着面とワークの間から、大気に放出されます。その結果、サイクロンパッドとワークの間にエア層が発生し、非接触での吊上げが可能になります。

薄膜用基板の「振動」「たわみ」を防止。