産業用ロボット向機器
クリーンロボット低真空
※1 真空破壊用エアのクリーン化はされておりません。詳細は当社にお問合せください。
クリーンシリーズ以外の機器の場合、設置条件(要求クリーン度、使用箇所など)をご確認の上ご選定ください。