化学工業向機器
不活性ガスライン
プロセスガス用減圧弁
減圧弁（圧力調整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
・接ガス部電解研磨処理。
・外部メタルシール構造。
| シリーズ | 名称 | 形式 | ボディ材質 |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | 二段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| SL | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | 一段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | 二段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレート式減圧弁 | SUS316 |
| BP | 高純度用 | 背圧弁 | SUS316 |
| BP | 一般ガス用 | 背圧弁 | SUS316 |
減圧弁（圧力調整器）／背圧弁 一般ガス用 AK/BP
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・半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。
・流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能。
| シリーズ | 形式 | 用途 | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| AK | 一段式 | ライン用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 一段式 | 一次側高圧用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 一段式 | 負圧調整 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 二段式 | 一次側高圧用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'' |
| BP | 背圧弁 | ― | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'' |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。
・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
| シリーズ | 名称 | 形式 | ボディ材質 |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | メータリングバルブ | SUS316 |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AZ
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| シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| AZ | エアオペレートタイプ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | マニュアルタイプ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP/AZ 一般ガス用/AK
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［チェック弁］
・背圧による流体の逆流を防止。
・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
［バキュームジェネレータ］
・真空発生機器。
・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
［フロースイッチ］
・配管の破断等による過剰流量の検出。
| シリーズ | 名称 | ボディ材質 |
|---|---|---|
| AP | チェック弁 | SUS316Lダブルメルト |
| AP | バキュームジェネレータ | SUS316Lダブルメルト |
| AP | フロースイッチ | SUS316Lダブルメルト |
ダイヤフラムバルブ 一般ガス用 AK
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・配管接続にRc, R, NPTをシリーズ化
・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・精密洗浄を実施
・アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現（AK3542, 4542）
・操作ポートM5ねじ（AK3542, 4542）
・ハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現（AK3652, 4652）
・ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ（AK3652, 4652）
| シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| AK | エアオペレートタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, R, NPT | 1/4''，3/8'' |
| AK | マニュアルタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, R, NPT | 1/4''，3/8'' |
減圧弁／一般ガス用 AK1000T
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータプロセスガス用機器 » プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
圧力制御機器 » レギュレータ
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・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・製品の小型、軽量化を実現
質量：0.52kg、高さ：97.5mm
・内部容積の小設計化でガス溜まりを低減
・配管バリエーション
コンプレッション継手、NPTめねじ、Rcねじから選択可
| シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| AK1000T | マニュアルタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, NPT | 1/4''，3/8'' |
