温控器

●限水阀

安装于水冷式冷凝器的冷却水配管，可调节流入水冷式冷凝器的冷却水流量的控制阀。有压力式、温度式等，可反馈冷凝压力、冷凝温度并调节阀的开度。
冷却水的温度低时，若流入水冷式冷凝器的冷却水流量过大，会导致冷凝压力下降，冷却能力降低。此时限水阀会对冷却水进行节流，使冷凝压力保持在希望的数值。另外不会使过量的冷却水流过的节水效果也是限水阀的一项功能。

●旋涡泵

泵的形式之一。通过泵室中的叶轮旋转，使流体获得离心力，将该力转换为压力并将流体输出。虽然与离心式泵相同，都是依靠离心力输出流体，但涡轮泵相对于离心式泵叶轮，叶片数更多、与泵室内壁的间隙更小，是一种可输出更高的压力的构造。
可以得到处于离心式泵和叶片泵之间的压力和流量特性。
这是一种中扬程、中流量的泵。

●循环液、恒温循环液

由温控器控制温度，在客户装置间循环的流体。
应考虑冻结温度、沸点、绝缘性等因素并结合用途选择清水、去离子水（纯水）、乙二醇水溶液或氟化液等作为循环液。

●信号输入输出、I/O

警报信号、运转信号等的输入输出信号。根据型号的不同，有继电器输出、集电极开路输出等。由于有各种各样的通信方法，所以在配线前需要确认其通信标准。