指经过过滤、蒸馏，去除了杂质的水，也称精制水。
去除了杂质及离子的水。在经过粒子过滤器过滤掉杂质后，再由离子交换树脂去除离子后所得的水。理论上电阻率的极限值为18.3MΩ・cm，而实际不可能达到该数值，通常将1～10MΩ・cm左右的水称为去离子水（纯水）。
