温控器
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【S】
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●水冷式冷凝器
利用冷却水将冷媒冷却并使其冷凝的热交换器。可用于大型工厂等能够循环使用冷却塔水或空调冷却水的环境。
根据热交换器的构造不同,可分为双层管式、多管式、平板式等。
●释放阀
当一次侧压力超过设定值时,释放阀开启,使压力从二次侧泄出的阀。
●SV值
SV:表示Set Value 温控器中温控的目标温度(设定温度)。
●三相电源
三线的交流电流或交流电压,互相差120度相位。
输送相同电力时,三根线各自的电流大小与单相相比仅为三分之一,可以使用较细的电线。拥有更易形成旋转磁场(可以使用简单结构的三相电机)的优点。
高输出的设备可以使用三相电源。
●SEMI S8
SEMI S8是除SEMI S2的14项的人体工程学要求之外的,更为详细的人体工程学的指南。
●SEMI F47
SEMI F47是SEMI标准中、对电压暂降抗扰度(对瞬时电压下降的耐受性)进行规定的指导原则。
对于温调器来说是和SEMI S2相同的半导体制造用户所要求的标准。
●SEMI S2
SEMI是半导体制造设备·平面显示器制造设备和材料厂商的国际性产业团体。制定了自己的SEMI标准,以作为半导体制造设备的设计相关的安全指南。
SEMI S2是半导体制造所使用的装置的工作环境、卫生以及安全的相关要求事项,包括了化学、辐射、电气、物理、机械、环境、活在、地震、排放、人体工程学,以及质量、文件、手册等方面。
多数的半导体制造商要求工厂运行的设备需符合SEMI S2。
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