●卡门涡街式
在流体中放置棒状物体（旋涡发生体）后，下流方向会交替地产生旋涡。产生的旋涡在一定条件下保持稳定，其频率与流速成正比，并符合下面的方程式。
f=k×v
f：旋涡的频率、v：流速、k比例常数（由旋涡发生体的尺寸、形状决定） 因此、根据检测出的频率来计算流量。
●气体用
适用流体：空气、氮气、氩气、二氧化碳
空气的质量等级为JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●水用
适用流体：水
水50%+乙二醇50%
●脱离子水（纯水）・化学液用
适用流体：脱离子水（纯水）
超纯水
不会腐蚀配管材料的流体
●热式（MEMS式）
以高分子膜上的用白金薄膜制作的加热器（Rh）为中心，对称设置的上流测温传感器（Ru）和下流测温传感器（Rd），以及用于测量气体温度用的环境温度传感器（Ra），共同构成了MENS传感器芯片。
原理如下图所示，Ru和Rd的电阻值之差与流动气体的流速成正比，因此检测其电阻值并进行计算后，就可得知气体的流向及流速。
Ra用于补偿气体温度及环境温度。
本流量开关的流量单位采用L/min表示，质量流量可以在0℃, 101.3kPa和20℃, 101.3kPa状态之间进行转换。
气体用
适用流体：空气、氮气、氩气、二氧化碳
空气的质量等级为JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●热式（热敏电阻式）
在流路中安装加热后的热敏电阻，在流体流过后，流体会将热敏电阻的热量带走。
热敏电阻由于热量被带走，电阻值增加，其增加率和流体的流速具有特定的关系，因而检测其电阻值就可得到流速。此外，为了补偿流体温度及环境温度而内置了温度传感器，因此可在工作温度范围内进行稳定的测量。
本流量开关的流量单位采用L/min表示，质量流量可以在0℃, 101.3kPa和20℃, 101.3kPa状态之间进行转换。
