■省空间:高37mm× 宽30mm
高:降低57mm(60%)
可设置于狭小的空间
■双AC方式 IZT42系列(电位振幅降低的规格)
采用SMC独有的双AC方式,可降低电位振幅。
即使是对静电敏感的设备,也可防止静电放电(ESD)的破坏,去除静电。
即使近距离设置也可降低目标工件的电位振幅。
双AC 方式 IZT42
同时释放+离子和-离子,+/-离子均等地到达工件,因此电位振幅较小。
AC 方式 IZT40/IZT41
+离子和-离子以带状、交替地到达工件,因此除电效率提高。
玻璃基板的除静电
从平台上拾取时,防止由剥离带电导致的经典破坏
电路基板的除静电
・防止元件因放电而损坏
・防止尘埃附着
■AC 方式系列 IZT41 系列
带自动平衡功能
■标准型 IZT40 系列
操作简单,接通电源即可使用
可选AC适配器
(仅可在一根棒体时使用AC适配器)
■自由的布局
控制器和高压电源组件可分离安装
1 台控制器最多可连接4根棒体
可选择供气口:右侧/左侧/两侧
可选择棒体/电缆长度
■维护性提高
采用低维护构造的电极针卡盘
从电极针周围排出压缩空气,可使电极针不易变脏
2 种电极针材质
钨/单晶硅(硅晶片用)
可选高速除静电卡盘、节能除静电卡盘
采用插头连接方式,插拔简单
只可更换棒体
■安全功能
防止电极针卡盘掉落的功能
两步锁定
防掉盖
可更有效地防止电极针卡盘掉落
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