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对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP

高真空元件 » 缝阀／门式阀
    ・长寿命：300万次（常温时）
    ・发尘量：减少至1/5以下（与以前型号相比）
    ・维护性提高
    　波纹管更换更容易
    　可通过顶部拆装们（订制规格）
    ・安全对策
    　采用机械式端锁机构
  • 对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP
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安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用压力范围（Pa）使用流体门尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGTP大气压～10-6惰性气体50×3360.45～0.6

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