技术资料/技术用语

半导体及太阳能电池的制造过程中，晶片处理时使用的惰性气体及特殊气体的总称。

特殊气体主要是高压储气瓶所提供的气体的总称，这些气体会具有毒性、可燃性、助燃性、自燃性、腐蚀性等性质。

指工厂中大量使用的氮气及氩气等，将其制成液氮一样的液化气体进行运输，并通过蒸发器将其气化并进行供气。

用于如半导体等需要极高洁净度气体的行业。具有使用SUS316L二次重熔或SUS316L材质，气体接触部分采用电解研磨处理及外部间隙密封等特点。

用于激光加工、分析、医疗等，不需要高洁净度气体的行业。材质可选择SUS316或黄铜。

使用气缸机壳及集装式高压储气瓶时，将储气瓶压力减压至管路压力所使用的元件。

集装式阀盒（VMB）等气体分配盒等装置中，设置于一次侧高压用减压阀的下游，用于调节管路压力的元件。

用于大宗气体、BSGS（大宗特殊气体系统）等，消耗大量的气体的生产线的元件。

用于需要在低蒸汽压气体处使用，使减压阀输出侧成为负压的元件。

将输入压力减小，使输出压力保持在一定范围的调压阀。
AP、SL、AZ、AK系列为直动型非溢流型减压阀，采用金属隔膜，可用于工艺气体。

一次侧减压阀是根据调节弹簧和气压的平衡而动作，因此输入侧压力改变也会使输出侧压力也随之改变。
二次侧减压阀是一次侧减压阀两个串联的结构，先将输入侧压力减压至中间压，再减至设定压力，所以可以抑制输入压力对输出压力的影响，改善压力特性。

膜片和（座阀式）阀芯相连接的结构，膜片处施加的输出压力使阀可以更稳定，从而防止异物阻塞而引起的阀泄漏。

气体接触部分采用无弹簧结构。虽采用和膜片阀芯一体结构相同的膜片和（座阀式）阀芯相连接的结构，但阀芯没有弹簧。

使输入压力保持在一定范围的调压阀，当输入压力高于设定压力时，可以通过调压阀将多余的压力导入输出侧从而是压力保持在一定范围内。

由于通过金属隔膜上下的运动而控制流路的开闭，也可作为气体断流阀使用。
由于隔膜为圆顶型并且具有弹性，接气部没有弹簧，并且隔膜将驱动部与接气部隔开，所以流路的死空间很少，形成了不易产生颗粒的结构。

锁定/标记，为了保护工厂的操作人员使用。
锁定是切断供给设备的气流，并用钥匙等固定以使其无法操作。标记是在操作设备上安装警告标签，以防止因误操作等引起的事故。

输入侧或输出侧配管端口处焊接的清洗用端口，配管施工时或维护时在阀关闭的情况下清洗时使用。

阀体会防止流体的背压引起逆流。
AP64系列是内部可活动零件只有O型密封圈的简单结构，并且由于是不使用阀芯及弹簧的无弹簧结构，因此不必担心零件的震动和震荡等引起的颗粒产生及下流侧的压力改变。

利用气体从喷嘴中高速喷出时，周边的流体会被吸引产生低压这一现象来形成真空的元件。
更换高压储气瓶时，可以利用其排放配管中残留的废气。
AP71、AP72系列是带有阀和单向阀功能的模块型元件。

AP71、AP72系列中，即使阀关闭时，也会有一定量的N2分流气体会通过孔口流入排气管线，在排气管线需要时常保持不活动状态的情况下十分有效。

可以检测超过设定流量的过量流量，用于检测由于管道破损导致的过量流量。
此外，AP74、AP74B系列没有流量显示功能。

奥氏体系不锈钢，提高了镍的含量并加入了钼元素从而提升了材料的耐腐蚀性。

SUS316的低碳钢，SUS316的特点之外还具有抗晶间腐蚀性的特点。

与普通的SUS316L相比，其材料中含有的杂质成分降低至极限的高品质材料。
APtech的材料符合SEMI标准F20的UHP等级。

Haynes国际公司的注册商标。
镍铬钼合金，具有良好的耐腐蚀性。

ELGILOY特种金属公司的注册商标。
钴铬镍合金,具有优秀的耐腐蚀性和高弹性。作为隔膜阀的隔膜的材料使用。

聚氯三氟乙烯。高透明度、高硬度的氟树脂，具有良好的低温特性。被用作为减压阀及隔膜阀的标准（阀芯）座的材料。

PTFE为全氟树脂，在化学上具有稳定性。与PCTFE相比，具有同等以上的耐化学性。是减压阀AP500、AP, AZ＆AK1000、AP＆AZ1100、AZ＆AK1300的（阀芯）座材料的可选材料。将减压阀作为过程工具使用时，推荐选择使用PTFE（阀芯）座的。

杜邦公司的注册商标。
耐高温塑料（聚酰亚胺树酯）。具有优良的耐热性和耐磨性。是在使用高温规格及N2O或CO2等特定气体时（阀芯）座的材料。

聚醚醚酮。作为热塑性树脂具有优异的耐热性。并且具有良好的耐疲劳性和耐化学性。
是减压阀的（阀芯）座材料的选择。

杜邦公司的注册商标。
氟橡胶（FKM）。具有良好的耐热性和耐化学性。

杜邦公司的注册商标。
高氟橡胶（FFKM）。具有比氟橡胶更好的耐热性和耐化学性。

将金属零件浸于电解液中并通电，使其表面变得平滑、光亮的技术。

将金属部件浸入硝酸等处理液中，使其在表面形成钝化膜，以提升其耐腐蚀性。

在套筒的前端安装金属垫片，并通过拧紧螺母从而形成密封的接头，从真空到正压均表现出良好的密封性。

在气动元件进行配管时，不使用接头直接对配管进行焊接。

咬合式管接头，使用双重套圈，并通过拧紧螺母使套圈与配管咬合从而连接。

美式管用圆锥螺纹标准。

表示主体内表面（接气部）的表面粗糙度。Ra是粗糙度的算术平均值，是参考长度下表面形状峰谷的平均值。
Ra max是任意部分的多个粗糙度算术平均值Ra的测量值中最大的数值。

阀的容量系数。表示15.6℃的水在一定压力差下流过阀时的流量的数值。计算方法符合SEMI标准的F32。该数值为减压阀全开状态下的值。

单向阀压力上升，阀开始打开，达一定流量时的压力。

真空发生器所能产生的真空压力的最大值。

Standard Liter（升）/min的缩写。
表示0℃、1个大气压下1分钟的体积流量。

表示减压阀的输入压力保持在一定状态，将设定压力（输出压力）设定在某一数值后，随着输入压力的变化而引起的输出压力变化量。

产品内部的压力低于外部压力时发生的，从产品外部向内部泄漏的量。检测时需要将产品内部置于真空，从外部吹氦气，检测进入内部的氦气。检测方法符合SEMI标准F1。

产品内部的压力高于外部压力时发生的，从产品内部向外部泄漏的量。检测时需要向产品内部充填氦气，检测泄露到外部的氦气。检测方法符合SEMI标准F1。此外，产品目录记载的外侧泄露值为钟罩法测量的数值。

产品内部的阀座部分的泄漏量。检测方法符合SEMI标准F1。此外，产品目录记载的减压阀内部泄漏值为钟罩法测量的数值。

泄漏检测方法的一种，将封入氦气的试验体置于钟罩（真空容器）内，并连接上钟罩内的检漏器，检测试验体泄露至钟罩内的氦气。

半导体、平板显示器、纳米技术、MEMS、太阳能发电、其他相关技术的制造设备·材料·提供相关服务的企业的国际产业协会（SEMI）发行的自愿性标准。