|高真空元件-用语集
记载内容为一般性特征，根据工艺条件不同有所变化。详细信息请咨询密封材料厂商。
FKM（氟橡胶）气体放出少、压缩永久变形小、气体渗透量小，被广泛地作为高真空密封材料使用。 SMC高真空型L型阀的标准材料使用的为三菱电线工业（株）制（复合物No.1349-80）。 另有利用O2等离子体从而改善了重量减少率的复合物（3310-75），请根据用途选择。
Kalrez®Dupont Elastomers公司的注册商标。 耐热性，耐化学性优良的高氟橡胶（FFKM），但需注意压缩永久变形。还拥有抗等离子体性（O2、CF4）和防尘性的改良产品，请根据用途选择。 复合物No.4079：，具有良好的耐气体性和耐热性的标准Kalrez材料。
Chemraz®Chemraz®是Green，Tweed&CO.公司的注册商标。耐化学品性、耐等离子体性优良的全氟橡胶（FFKM）。是耐化学品性、耐等离子体性优良的高氟橡胶（FFIKM）。耐热性也比FKM稍高。请根据使用的等离子体及其他条件进行选择。 复合物No.SS592：具有优秀的物理特性，在运动部分使用具有更好的效果。复合物No.SS630：可用于固定部分及运动部分，用途广泛。复合物No.SSE38：专门开发用于高密度等离子体，在Chemraz中是洁净度最高的材料。
Barrel Perfluoro®松村石油(株)的注册商标。 复合物No.70W：不含有金属填充材料的高氟橡胶（FFKM）。对NF33·NH3具有抗性。在干燥工艺环境下产生颗粒少，压缩永久变形也相对较小。
ULTIC ARMOR®日本华尔卡工业（株）的注册商标。 不含有金属填充材料的氟橡胶。是具有抗等离子体性、低气体释放性、耐热性的密封材料。
有机硅塑料（硅胶、VMQ）相对低价且抗等离子体性良好，但气体渗透量大。 SMC高真空L型阀（密封材料选项）为三菱电线工业（株）制（复合物No：1232-70白）。在O2等离子体、NH3气体下使用，具有低重量减少率、低颗粒等特点。
EPDM（乙丙橡胶）相对低价且耐 性、耐化学性、耐热性良好，但对普通矿油毫无抗性。SMC高真空L型阀（密封材料选项）为三菱电线工业（株）制（复合物No：2101-80）。具对NH3等具有抗性。
粉尘产生及气体释放量最少，是清洁的密封方法。主流是成型波纹管波纹管和焊接波纹管。前者粉尘产生较少相对耐尘性强，后者行程大，但在粉尘产生及耐尘方面较弱。需要注意其耐久性受行程及速度的影响。
O形密封圈等气体吸入、粉尘产生等方面的真空性能稍劣于波纹管式，但可高速运转且耐久性相对较高。轴密封部分一般会涂抹氟润滑脂。
向操作用电磁阀施加电压后，阀(XL□)的行程的进行至90%的时间为阀开启响应时间。阀开启动作时间为行程开始至进行到行程的90%的时间。两者均为操作压力越高时间越快。
阀关闭将操作用电磁阀的电源关闭，阀(XL□)回归至行程90%的时间为阀关闭响应时间。阀关闭动作时间为阀关闭至回归到行程90%的时间。两者均为操作压力越高时间越长。
在超薄板中存在øA（cm2）大小的孔的情况下，V为气体的平均速度，R为气体常数，M为分子量，T为绝对温度，流导“C”为C=VA/4=(RT /2πM))0.5A、在20℃的空气下、流导C=11.6A(L/sec)。
圆筒的流导
长度为L(cm)直径为D(cm),在L>D的情况下、由于C=(2πRT/M)0.5D3/6L，在20℃的空气下，流导C=12.1D3/L(L/sec)。
短管的流导可以简单地由下图（克劳辛系数图）的克劳辛系数K和孔的流导C得出短管的流导CK，CK=KC。
流导的合成
各个流导为C1、C2…Cn，则合成流导ΣC为 串联配管时 ΣC=1/(1/C1+1/C2+…+1/Cn) 并联配管时 ΣC=C1+C2+…+Cn
附着和吸着在金属等的表面和极浅的内部的气体，由于压力下降从表面脱离飞入真空中的现象。这随着表面的先滑度及氧化膜的紧密性而降低。
气体放出Qg和泄露量Q(L)的和为Q(Pa・m3/s)，排气速度为S(m3/s)时，则到达压力P(Pa)为P=Q/S。到达压力除受上述Qg、Q(L)S的影响之外，还受到泵自身的到达压力所限定，当压力较低时泵自身的排气特性会受到较大影响。特别是泵自身的污染导致排气特性下降、大气泄露导致的浸水会对其造成极大的影响。
在无泄漏的容积为V(L)的空间，用排气速度为S(L/sec)的气泵从压力P1向P2排气的时间(Δt)，由于只有容积的排气负荷，则Δt=2.3(V/S)log(P1/P2)。在高真空下，由于有表面层（气体放出）的排气负荷，因此受空间的表面状态和表面积以及泵的排气速度的影响。
活化能（E）较小吸附时间（τ）较短的氧气、氮气等可以较快排出。但活化能较大的情况下排气无法进行，提高温度（绝对温度T）后吸附时间缩短则可以快速排出。R为气体常数，则τ0=(約)10-13sec、τ=τ0 exp(E/RT)。 例如，水的吸附时间在20℃时为5.5×10-6sec，在150℃为2.8×10-8sec约为前者的1/200，可以将吸附时间较长的水快速排出。
