|低露点的洁净空气(洁净室用空气)
■用途示例
・洁净室内的半导体零部件吹气
■净化系统
点击系列名可查看详细信息。
AT,HAA/HAW:安装于空气压缩机时不需要。
AT:使用螺杆式空气压缩机蓄压时需要。
水分 | 过滤精度 | 油雾浓度注1) | 油臭气 | 系统的品质等级注2) | |
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露点 | 含有水分量 | ||||
大气压露点:-30~-60℃ 压力露点:-6~-42℃(0.7MPa时) |
0.5g~0.02g/㎥(ANR) | 0.01μm (捕捉效率99.99%) |
Max.0.004mg/㎥ (ANR) 0.0032ppm |
无 | 1,1,1注3) 1,2,1 1,3,1 |
注1)入口侧的油雾浓度(压缩及输出浓度)约30mg/m3以下的场合。
注2)根据ISO8573-1:2010(JIS B8392-1:2012)的压缩空气品质等级(参考上表),它是系统可得到的最高品质等级。实际会因入口空气条件而不同。
注3)因为可以定制(根据使用条件),请咨询。