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压缩空气净化元件

|低露点的洁净空气(洁净室用空气)

■用途示例

・洁净室内的半导体零部件吹气

■净化系统


点击系列名可查看详细信息。

AT,HAA/HAW:安装于空气压缩机时不需要。
AT:使用螺杆式空气压缩机蓄压时需要。


■压缩空气中的不纯物
水分 过滤精度 油雾浓度注1) 油臭气 系统的品质等级注2)
露点 含有水分量
大气压露点:-30~-60℃
压力露点:-6~-42℃(0.7MPa时)
0.5g~0.02g/㎥(ANR) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
Max.0.004mg/㎥
(ANR)
0.0032ppm
1,1,1注3)
1,2,1
1,3,1

注1)入口侧的油雾浓度(压缩及输出浓度)约30mg/m3以下的场合。
注2)根据ISO8573-1:2010(JIS B8392-1:2012)的压缩空气品质等级(参考上表),它是系统可得到的最高品质等级。实际会因入口空气条件而不同。
注3)因为可以定制(根据使用条件),请咨询。


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